Morfologie povrchu
Měření tvaru povrchů jsme schopni provádět ve velkém rozmezí; pokud bereme v úvahu i další zařízení
v oboru délky ČMI, jsme schopni měřit velikost a tvar objektů od několika nanometrů až po kilometry.
V rámci našeho oddělení jsme omezeni největšími rozměry ve stovkách nanometrů, přičemž
disponujeme následujícím přístrojovým vybavením (seřazeno chronologicky):
- mikroskop Accurex II.L (Thermomicroscopes)
- mikroskop Explorer (Thermomicroscopes)
- mikroskop Aurora (Thermomicroscopes)
- speciální metrologický systém vyvinutý ve spolupráci s ÚPT AVČR
- speciální mikroskop s rozsahem v řádu centimetrů
- mikroskop Dimension Icon (Bruker)
Při standardních měřeních pomocí SPM metod (bez použití speciálních zařízení) jsme omezeni
maximálním laterálním rozsahem 100 x 100 mikrometrů a maximální nerovností 10 mikrometrů.
Nejistota měření je závislá na tvaru a typu objektu, který charakterizujeme, z metodik
zde vybíráme některé typické artefakty:
| šířka masky | 20 nm + (0,005 x šířka) |
| výška schodku | 2 nm + (0,01 x výška schodku) |
| perioda mřížky | 2 nm + (0,005 x šířka)/počet period |
Při speciálních měřeních můžeme jít až do rozsahu 1 x 1 cm, případně můžeme snížit nejistotu měření
na hodnotu okolo 1 nm (v závislosti na měřeném artefaktu a použitém zařízení). Za speciálních podmínek
můžeme měřit také vzorky, které nejsou ve formě pevného jednolitého vzorku, jako jsou např. nanočástice.
Výstupem měření je typicky kalibrační list, mohou to být nicméně také měřená data (která lze vyhodnotit
například v programu Gwyddion).
|
