Morfologie povrchu

Měření tvaru povrchů jsme schopni provádět ve velkém rozmezí; pokud bereme v úvahu i další zařízení v oboru délky ČMI, jsme schopni měřit velikost a tvar objektů od několika nanometrů až po kilometry. V rámci našeho oddělení jsme omezeni největšími rozměry ve stovkách nanometrů, přičemž disponujeme následujícím přístrojovým vybavením (seřazeno chronologicky):

  • mikroskop Accurex II.L (Thermomicroscopes)
  • mikroskop Explorer (Thermomicroscopes)
  • mikroskop Aurora (Thermomicroscopes)
  • speciální metrologický systém vyvinutý ve spolupráci s ÚPT AVČR
  • speciální mikroskop s rozsahem v řádu centimetrů
  • mikroskop Dimension Icon (Bruker)

Při standardních měřeních pomocí SPM metod (bez použití speciálních zařízení) jsme omezeni maximálním laterálním rozsahem 100 x 100 mikrometrů a maximální nerovností 10 mikrometrů. Nejistota měření je závislá na tvaru a typu objektu, který charakterizujeme, z metodik zde vybíráme některé typické artefakty:

šířka masky20 nm + (0,005 x šířka)
výška schodku2 nm + (0,01 x výška schodku)
perioda mřížky2 nm + (0,005 x šířka)/počet period

Při speciálních měřeních můžeme jít až do rozsahu 1 x 1 cm, případně můžeme snížit nejistotu měření na hodnotu okolo 1 nm (v závislosti na měřeném artefaktu a použitém zařízení). Za speciálních podmínek můžeme měřit také vzorky, které nejsou ve formě pevného jednolitého vzorku, jako jsou např. nanočástice.

Výstupem měření je typicky kalibrační list, mohou to být nicméně také měřená data (která lze vyhodnotit například v programu Gwyddion).


(c) CMI 2012

Novinky

Zveme vás na Seminář o metodách blízkého pole.

Snímek měsíce


Atomární schodky na Si

Kontakt

Oddělení primární nanometrologie a technické délky
Český metrologický institut
Okružní 31, 638 00 Brno
pklapetek(at)cmi.cz