Techniky nanometrologie

Jak je patrné z těchto stránek, nejrozšířenějším nástrojem v oboru nanometrologie jsou různé metody rastrovací mikroskopie (SPM - scanning probe microscopy). Z široké rodiny těchto metod vybíráme hlavní, které mají v současnosti patrně největší potenciál v oboru kvantitativních měření:

Kromě těchto metod využíváme také techniky nanoindentace, mikroindentace a vrypové zkoušky, které sice neposkytují tak velké prostorové rozlišení, ale jsou schopny provádět měření sil a mechanických vlastností s mnohem vyšší přesností.


(c) CMI 2012

Novinky

Zveme vás na Seminář o metodách blízkého pole.

Snímek měsíce


Atomární schodky na Si

Kontakt

Oddělení primární nanometrologie a technické délky
Český metrologický institut
Okružní 31, 638 00 Brno
pklapetek(at)cmi.cz