Techniky nanometrologie
Jak je patrné z těchto stránek, nejrozšířenějším nástrojem v oboru nanometrologie jsou různé
metody rastrovací mikroskopie (SPM - scanning probe microscopy). Z široké rodiny těchto metod vybíráme hlavní,
které mají v současnosti patrně největší potenciál v oboru kvantitativních měření:
Kromě těchto metod využíváme také techniky nanoindentace, mikroindentace a vrypové zkoušky,
které sice neposkytují tak velké prostorové rozlišení, ale jsou schopny provádět měření sil a mechanických vlastností
s mnohem vyšší přesností.
|
(c) CMI 2012
|
|
Novinky
2019-10-02 Byla vydána nová verze FDTD solveru GSvit 1.9.2.
Zveme vás na Seminář o metodách blízkého pole.
Snímek měsíce

Kontaktní rezonance na kalibračním vzorku Al/Si/Cr
Kontakt
Oddělení primární nanometrologie a technické délky
Český metrologický institut
Okružní 31, 638 00 Brno
pklapetek(at)cmi.cz
|