Techniky nanometrologie
Jak je patrné z těchto stránek, nejrozšířenějším nástrojem v oboru nanometrologie jsou různé
metody rastrovací mikroskopie (SPM - scanning probe microscopy). Z široké rodiny těchto metod vybíráme hlavní,
které mají v současnosti patrně největší potenciál v oboru kvantitativních měření:
Kromě těchto metod využíváme také techniky nanoindentace, mikroindentace a vrypové zkoušky,
které sice neposkytují tak velké prostorové rozlišení, ale jsou schopny provádět měření sil a mechanických vlastností
s mnohem vyšší přesností.
|
(c) CMI 2012
|
|
Novinky
3.11.2022 Byla vydána nová verze sw pro analýzu SPM dat Gwyddion 2.62.
Kontakt
Oddělení primární nanometrologie a technické délky
Český metrologický institut
Okružní 31, 638 00 Brno
pklapetek(at)cmi.cz
|